应用于真空系统的橡胶主要有两大类：硫化橡胶和合成橡胶（包括丁基、氯基、丁晴橡胶），此外还有硅酮橡胶和氟橡胶。除了正确的密封结构设计，合理选择密封材料也是实现真空橡胶密封的关键。几个主要因素会影响真空密封，包括橡胶的耐热性、耐压缩变形性、漏气率、气透性、出气率以及升华（失重）。

耐热性：在真空系统中，橡胶密封件必须具备一定耐热性，以确保烘烤去气的顺利进行。烘烤温度在120℃以下和10^-5Pa的真空度下，可采用丁基或丁晴橡胶；若要求烘烤温度更高且在超高真空环境中工作，则需采用氟橡胶。

耐压缩变形性：在真空系统中，大多数真空密封件都在压缩状态下工作。为了确保密封件的可靠性和寿命，橡胶密封件应具有较小的压缩变形值（最好小于35%），并具有缓慢的压缩应力松弛程度（即压缩应力松弛系数较大）。

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