氟硅橡胶是在甲基乙烯基硅橡胶的分子侧链上引入氟烷基或氟芳基而制成的聚合物。它具有优异的耐油、耐溶剂性能，但耐高温、耐低温性能不如甲基乙烯基硅橡胶，其工作温度范围为一50~250℃。氟硅橡胶品种不少，但获得广泛应用的仅有甲基乙烯基三氟丙基硅橡胶(methyl-vinyl-y-trifluoropropylsiliconerubber)或称聚甲基乙烯基三氟丙基硅氧烷橡胶(polymethyl-vinyl-y-trmuoropropyl sioxane rubber)，简称为氟硅橡胶，代号为MFVQ，也称硅氟橡胶。它对脂肪族、芳香族和氯化烃溶剂、石油基的各种燃料油、润滑油、液压油以及某些合成油(如二酯类润滑油、硅酸酯类液压油)在常温和高温下的稳定性都很好。

【制法】由甲基三氟丙基硅氧烷和甲基乙烯基硅氧烷共聚合而制得，也可采用三甲基三(y-三氟基)环三硅氧烷的开环聚合法来制备。

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